Els coixinets de poliment són els accessoris clau que determinen la qualitat superficial de les hòsties en el procés de poliment mecànic químic (CMP). Es componen principalment de materials com l'escuma de poliuretà, que tenen una microestructura porosa i una alta resistència al desgast. Les seves funcions bàsiques inclouen la transferència uniforme de pressió, l'emmagatzematge de fluid de poliment i l'eliminació de residus de reacció. Mitjançant l'ajust de la duresa, es pot optimitzar la uniformitat del motlle (WID) i la uniformitat del xip de l'hòstia, respectivament. El disseny del patró de la ranura afecta directament l'eficiència de distribució del líquid de poliment. La ranura radial millora la taxa d'eliminació de material, mentre que la ranura de l'anell optimitza l'acabat superficial.
El rendiment del coixinet de poliment està determinat per 7 indicadors bàsics:
1.Densitat: Afecta el grau de deformació
2.Duresa: Regula l'eficiència de la mòlta
3.Gesssor: determina la uniformitat de la pressió
Patró 4.Groove: optimitzar la distribució del líquid
5. Paràmetres de ranura: l'amplada/la profunditat afecten la capacitat d'emmagatzematge
6.Especificacions del diàmetre exterior: s'han d'adaptar a la mida de l'equip
Composició i estructura del coixinet de poliuretà
Els coixinets de poliuretà de poliuretà solen utilitzar com a material principal poliuretà d'alt rendiment-. El poliuretà és una mena de polímer d'alt nivell molecular amb bona elasticitat, resistència al desgast i estabilitat química.
La seva estructura inclou generalment una capa de poliment i una capa de suport. La capa de poliment està en contacte directe amb el material polit i ha de tenir característiques de duresa, rugositat i porositat adequades per aconseguir un efecte polit eficient; la capa de suport fa principalment el paper de suport i fixació de la capa de poliment, alhora que ajuda a transmetre la pressió de poliment i a mantenir l'estabilitat general del coixinet de poliment.
Característiques de rendiment dels coixinets de poliuretà de poliuretà
Alta elasticitat: pot adaptar-se millor a la superfície de l'objecte polit, i fins i tot les superfícies corbes complexes es poden polir uniformement, reduint la pressió local massa gran o massa petita durant el procés de polit CMP, millorant així la qualitat del polit.
Alta resistència al desgast: durant el procés de polit-a llarg termini, pot mantenir la seva pròpia forma i rendiment i no és fàcil de portar, la qual cosa allarga la vida útil del coixinet de poliment i redueix el cost d'ús.
Alta planitud: pot garantir la planitud de la superfície polida, que és essencial per al processament de components òptics d'alta{0}}precisió, xips de semiconductors, etc., i pot complir els estrictes requisits de precisió superficial en aquests camps.
Alta estabilitat: sota diferents condicions ambientals (com ara canvis de temperatura i humitat, etc.), el coixinet de poliuretà de poliuretà encara pot mantenir l'estabilitat del seu rendiment i assegurar la consistència de l'efecte de polit.